http://twintube-ir.com/ko/tags/%EB%93%9C%EA%B0%80/ Recent content in 드가 on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ko Sat, 20 Jun 2026 05:27:05 +0800 http://twintube-ir.com/ko/posts/wafer-degas-infrared-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:27:05 +0800 http://twintube-ir.com/ko/posts/wafer-degas-infrared-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="웨이퍼 탈가스용 적외선 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정 중 웨이퍼 전체에 걸쳐 2°C 정도의 온도 차이가 발생하면, 치명적인 문제가 생길 수 있습니다. 이로 인해 노출 시간도 줄어들게 됩니다. 매번 공정을 진행할 때마다 온도 변화를 확인하는 것은 불가능합니다. 웨이퍼 탈기용 적외선 히터는 온도를 적절한 수준으로 유지해 주며, 이를 통해 공정의 일관성을 보장할 수 있습니다.</p>