http://twintube-ir.com/ko/tags/%EA%B4%91%ED%95%99/ Recent content in 광학 on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ko Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/ko/posts/optical-wafer-processing-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/ko/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="광학 웨이퍼 처리 히터"></p> <p>Fab <a href="https://o-yate.net">floor</a>에서 포토레지스트 공정은 열 편차를 용납하지 않는다. 소프트 베이크나 하드 베이크 중 웨이퍼 전반에 걸쳐 0.5°C의 온도 편차가 발생하면 라인폭 변화로 나타나며, 단 한 번의 입자 발생으로도 다수의 제품이 불량이 될 수 있다. 따라서 웨이퍼 공정 히터는 변수가 아닌 고정된 공정 상수처럼 작동해야 한다.</p>