http://twintube-ir.com/ko/tags/%EA%B0%9C%EB%B0%9C%EC%9E%90/ Recent content in 개발자 on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ko Fri, 05 Jun 2026 03:51:16 +0800 http://twintube-ir.com/ko/posts/coater-developer-infrared-heater/ Fri, 05 Jun 2026 03:51:16 +0800 http://twintube-ir.com/ko/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="코터 개발자 적외선 히터"></p> <h1 id="리소그래피-현장에서의-포토레지스트-베이크">리소그래피 현장에서의 포토레지스트 베이크</h1> <p>포토레지스트 베이크는 선택 사항이 아니라 수율을 만드는 것과 스크랩이 쌓이는 것을 지켜보는 것 사이의 경계선입니다. 소프트 베이크 중 2°C의 편차만으로도 웨이퍼 전체에 걸쳐 CD 변동이 발생할 수 있습니다. 하드 베이크가 일관되지 않으면 스컴, 약한 접착력 및 스트리퍼를 비웃는 잔여 필름을 초래합니다. 코터/개발기 IR 히터는 사이클마다 반복 가능한 열적 동작을 제공해야 하며, 입자들이 흐름에 들어가거나 프로세스 창이 축소되지 않도록 해야 합니다.</p>