센서 포장 과정에서 발생하는 열 낭비를 막으세요.
스마트 센서용 웨이퍼를 가열하거나 조리하는 데 시간을 보낸 적이 있다면 그 고통스러움을 잘 알 것입니다. 기계에 많은 에너지가 공급되지만, 그 에너지의 상당 부분이 낭비됩니다. 그 에너지는 기계의 하우징 속으로 새어나가 버리고, 실제로 웨이퍼에 도달하지 못합니다. 이는 에너지와 시간의 낭비입니다.
우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용함으로써 이러한 열 낭비를 막는 방법을 찾아냈습니다.
왜 금인가?
기계를 화려하게 꾸미기 위해서가 아닙니다. 금은 중파 및 장파 적외선을 원래 있어야 할 곳으로 반사하는 데 매우 효과적입니다. 반사체에 정밀하게 금 층을 입힘으로써, 기계의 하우징이 그 열을 흡수하는 것을 막을 수 있습니다. 그 결과 에너지가 직접 웨이퍼에 전달됩니다. 이렇게 하면 목표 온도에 더 빠르게 도달할 수 있으며, 그러기 위해 과도한 에너지를 사용할 필요도 없습니다.
단점 및 해결 방법
물론, 이 방법에는 단점이 있습니다. 모든 에너지를 한 점에 집중시키면 고밀도의 열이 발생합니다. 이는 매우 빠른 속도로 일어나지만, 냉각 시스템에 큰 부담을 줍니다. 만약 공기 흐름이나 방열구가 그런 강도의 열을 견딜 수 없다면, 주변 부품들에 문제가 생길 수 있습니다. 따라서 초점 위치를 적절히 조절하여 웨이퍼가 손상되는 것을 방지해야 합니다.
실제 적용 방법
가장 좋은 점은, 이러한 반사체들이 기존의 알루미늄 하우징을 대체할 수 있다는 것입니다. 전체 생산 라인을 다시 구축할 필요가 없습니다. 금 코팅도 매우 튼튼하여, 계속되는 가열 및 냉각 과정에서도 벗겨지거나 산화되지 않습니다. 연결만 해주면, 열 처리 시간이 줄어듭니다. 게다가, 에너지가 방 안으로 새어나가지 않으므로 전기 인프라도 그다지 큰 부담을 받지 않습니다.