http://twintube-ir.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ja Fri, 24 Jul 2026 11:17:01 +0800 http://twintube-ir.com/ja/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ Fri, 24 Jul 2026 11:17:01 +0800 http://twintube-ir.com/ja/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>乾燥処理中にMEMSウェーハをきれいな状態に保つために<br> もしクラス100のクリーンルームを利用しているのであれば、ガスが発生したり、不要な粒子が存在するという問題をご存知でしょう。これは通常、乾燥段階で起こります。一般的なヒーターでは、加熱されると微細な破片が飛び散ったり、揮発性有機化合物（VOCs）が漏れ出したりします。</p>