http://twintube-ir.com/ja/tags/%E9%96%8B%E7%99%BA%E8%80%85/ Recent content in 開発者 on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ja Fri, 05 Jun 2026 03:51:16 +0800 http://twintube-ir.com/ja/posts/coater-developer-infrared-heater/ Fri, 05 Jun 2026 03:51:16 +0800 http://twintube-ir.com/ja/posts/coater-developer-infrared-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="コーターデベロッパー赤外線ヒーター"></p> <h1 id="リソグラフィー工程におけるフォトレジスト焼成">リソグラフィー工程におけるフォトレジスト焼成</h1> <p>リソグラフィー工程において、フォトレジストの焼成は単なるオプションではなく、歩留まりを確保するためと廃棄物が蓄積されるのを防ぐための重要な要素です。ソフトベイク中に2°Cのドリフトが発生するだけで、ウエハ全体にCD変動が広がります。また、ハードベイクが一貫していないと、スカム、弱い接着、ストリッパーを侮る残留フィルムを引き起こすことになります。コータ/デベロッパーのIRヒーターは、サイクルごとに繰り返し可能な熱特性を提供し、粒子を流れに放出することなく、プロセスウィンドウを縮小させる必要があります。</p>