http://twintube-ir.com/ja/tags/%E7%B4%A0%E6%99%B4%E3%82%89%E3%81%97%E3%81%84/ Recent content in 素晴らしい on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 03:36:26 +0800 http://twintube-ir.com/ja/posts/quartz-boat-heating-lamp-fab/ Sun, 07 Jun 2026 03:36:26 +0800 http://twintube-ir.com/ja/posts/quartz-boat-heating-lamp-fab/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="クォーツボート加熱ランプファブ"></p> <h1 id="フィルム製造におけるフォトレジストの焼成">フィルム製造におけるフォトレジストの焼成</h1> <p>ファブフロアでは、フォトレジストの焼成は選択肢ではなく、熱予算です。ソフトベイクまたはハードベイクがたとえわずかにでも温度がずれれば、<a href="https://o-yate.net">重要寸法</a>が狂います。それはCD-SEMで即座に確認できます。私たちは、この変動を排除するために、石英ボート加熱ランプを設計しました。</p> <h2 id="技術的に重要なこと">技術的に重要なこと</h2> <p>これらのランプは、高純度石英を通して短波赤外線をウエハーに直接照射するため、熱は直接的で迅速かつ厳密に<a href="https://o-yate.com">制御</a>されています。主要な仕様は、ボート全体でのウエハーレベルの均一性が±0.1℃であり、これにより溶剤の除去が一貫して行われ、ポリマーの流れが安定します。 これらはクラス1–100のクリーンルームで運転され、定常状態に入るとゼロの粒子生成で安定します。<a href="https://henruite.com">出力</a>の再現性は数千サイクルにわたって厳密に保たれます。プロセスエンジニアにとって、これにより熱プロファイルは野生の変数ではなく、ロックして忘れることができる他のパラメータとなります。</p>