製造工程における乾燥処理のエネルギー診断

ウェーハ乾燥工程での熱の無駄遣いをやめましょう。 正直言って、ウェーハ製造プロセスにおける乾燥工程は、実質的に高価なヒーターと同じです。大量のエネルギーが消費されますが、そのうちかなりの量が壁に反射したり、筐体の外に漏れてしまいます。これはエネルギーの無駄であり、非常にもったいないことです。 私た...