ファブ内の適切な温度管理 ウエハの硬化処理を行ったことがある人なら、ウエハが歪んだり、化学物質が不均一に付着するという問題をご存知でしょう。これは、熱が表面に均等に届いていないからです。 そのため、私たちは高反射率のIRシステムを利用します。単に熱をあちこちに放出するのではなく、この反射器を使って...

アルミニウム製反射器を備えたIRランプ：現代のスマートファクトリーに不可欠な熱源 つまり、将来のIndustry 4.0対応のスマートファクトリーに必要な熱供給システムを構築しているわけです。どのような加熱技術を選ぶかは、非常に重要な決断です。 高度で高密度の熱が必要な場合は、優れた赤外線システム...

危険な化学物質を扱う際には、通常の加熱装置では不十分です。それは大きな危険を伴います。そのため、私たちは金製の反射板を備えた赤外線加熱ランプを開発しました。これは、このような過酷な状況に特化して設計されているのです。つまり、化学物質が飛び散っても、火災や故障の心配なく、強烈で集中した熱を供給できる...