省エネ型ウェーハヒーター

ウェーハを常に清潔に保つために：加熱の真実 クラス100のクリーンルームを運用しているなら、エアフィルターだけでは不十分だということはご存知でしょう。本当の問題は、目に見えないものです。加熱素子から放出されるガスや微細な粒子が、問題が発生していることに気づく前に、ウェーハを破壊してしまいます。 そ...