カーボンナノチューブ製造用ヒーター

ヒーターに問題が発生したときでも、ウェーハを清潔に保つ方法 カーボンナノチューブの製造を行っている人なら、この問題はよく知っているでしょう。正確な温度制御のためには、高出力の赤外線ランプが必要です。しかし問題は、高負荷の生産環境下でこれらのランプを使うと、チューブが破損してしまうことです。 それは...