http://twintube-ir.com/ja/tags/%E3%83%89%E3%82%AC/ Recent content in ドガ on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ja Sat, 20 Jun 2026 05:27:04 +0800 http://twintube-ir.com/ja/posts/wafer-degas-infrared-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:27:04 +0800 http://twintube-ir.com/ja/posts/wafer-degas-infrared-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ウェーハ脱気用赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィーフロアでは、ソフトベイクの際にウェーハ全体で2°Cもの温度上昇が起こると、重要な寸法が変わってしまい、長時間の<a href="https://o-yate.net">露光処理</a>が無駄になってしまいます。毎回の工程ごとに温度変動を追跡するわけにはいきません。ウェーハデガス化用の赤外線ヒーターを使えば、適切な温度管理が可能になります。つまり、温度変動はレジストの特性に影響を与えるだけで、プロセスのばらつきには影響しません。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、ウェーハ自体の反応に合わせて調整された高速かつ直接的な放射加熱を行います。これにより、プロセス中のウェーハ全体の温度のばらつきを±0.1°C以内に抑えることができ、繰り返しの工程でも一定の<a href="https://goldisgood.com">温度精度</a>を維持できます。このシステムはクラス1～100の清浄室で使用でき、粒子の発生もありません。また、密閉型で低ガス放出設計になっているため、24時間365日安定した動作が可能です。予期しない停止やメンテナンスの間隔を計画しやすくなります。</p>