クリーンルームを実際に清潔に保つために：加熱に関する真実
半導体や光学製品の分野では、ほんのわずかなほこりでさえも大問題です。それは一瞬でウェハー全体をダメにしてしまう可能性があります。
問題は、ほとんどの赤外線ヒーターが汚れやすいという点です。加熱されると、微細な破片が放出されてしまいます。このような状況を防ぐために、私たちはファブラム装置に高純度の石英ガラス製のシールドを使用します。これは、基板を守るための高度な「ボディーガード」と言えます。
材料の重要性
私たちは普通のガラスを使うのではありません。合成結晶シリカを使用しています。
普通のガラスにはアルカリ金属が含まれており、高温になるとその金属が移動し、ワークピース全体に汚染物質が残ってしまいます。これは良くありません。
私たちの石英シールドは、加熱要素とワークピースの間に物理的な壁として機能します。短波長の赤外線は通過しますが、ランプの内部から出てくる汚染物質は遮断されます。
熱のバランスを取ること
熱密度の管理は難しい課題です。
高ワット数でランプを動作させると、内部のフィラメントと外部のシールドとの間の温度差が非常に大きくなります。私たちは石英の厚さに細心の注意を払っています。
厚すぎると効率が低下し、薄すぎると加熱時に割れてしまいます。まさに綱渡りです。
また、真空ポンプや purgingシステムも確認してください。どんなに純度の高い石英でも、設置時に指紋やほこりが残っていると意味がありません。その残留物がガラス表面に付着し、「ホットスポット」を作り出し、最終的にはランプを破壊してしまいます。
装置に取り付ける方法
これらのシールドは、簡単に交換できるように設計されています。汚染物質が入り込む隙間がないように、フィット感にも重点を置いています。
ただし、化学的には強いとはいえ、やはりガラスです。破損しやすいのです。
技術者には丁寧に扱うように伝えてください。クラス100の基準を満たすために、lint-freeウェップやIPAを使用してください。ひび割れが見つかったら、すぐに交換してください。リスクを冒す価値はありません。