乾燥処理中にMEMSウェーハをきれいな状態に保つために
もしクラス100のクリーンルームを利用しているのであれば、ガスが発生したり、不要な粒子が存在するという問題をご存知でしょう。これは通常、乾燥段階で起こります。一般的なヒーターでは、加熱されると微細な破片が飛び散ったり、揮発性有機化合物（VOCs）が漏れ出したりします。
そのため、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用しています。
なぜ石英か？
それは材料の性質によります。私たちはほぼ不純物が含まれていない融合シリカを使用しているので、金属汚染によってMEMSセンサーが損傷する心配はありません。金属製のヒーターとは異なり、これらの石英管は非反応性のバリアとして機能します。IR放射線はウェーハ上の液体膜を直接通過し、表面に触れることなく迅速に乾燥させます。接触しないため、傷や汚染も防げます。簡単です。
適切な加熱条件の設定
乾燥処理を迅速に行うために、短波長のIR放射を利用します。ここでの目的は、チャンバ内の空気全体を加熱してエネルギーを無駄にするのではなく、エネルギーを直接ウェーハ表面に与えることです。しかし、パワー密度には注意が必要です。これらのランプは数秒で加熱されますが、ウェーハが完全に正確に位置していない場合、熱応力が発生する可能性があります。私は常に精密なPIDコントローラーを使用することを推奨します。そうすれば、状態を安定させ、MEMS構造が変形するのを防げます。
既存のラインに組み込む
これらは既存の設備にそのまま取り付けられるように設計されています。不要な接着剤はすべて除去され、支持部分には高耐熱性のセラミックが使用されています。そうすれば、何も生産ラインに入り込むことはありません。
ただし、一つ注意点があります。高純度の石英は化学的には不活性ですが、同時に脆弱でもあります。作業員は慎重に扱う必要があります。必ずフリーの手袋を着用しましょう。指紋ひとつでも油分が残り、加熱されると石英に焼き付きます。そうなると、永久的な「暗い斑点」ができ、熱の分布も乱れてしまいます。