http://twintube-ir.com/it/tags/supporto/ Recent content in Supporto on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo it Mon, 01 Jun 2026 20:02:46 +0800 http://twintube-ir.com/it/posts/technical-support-for-wafer-heating/ Mon, 01 Jun 2026 20:02:46 +0800 http://twintube-ir.com/it/posts/technical-support-for-wafer-heating/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Supporto tecnico per il riscaldamento dei wafer"></p> <p>Sulla linea di produzione, si impara rapidamente che una deriva di appena mezzo grado nel profilo di soft bake può modificare lo spessore del fotoresist e causare uno scostamento nelle dimensioni critiche su tutto il wafer. L’eterogeneità nel hard bake peggiora la situazione, manifestandosi come residui di scum dopo lo sviluppo o residui di incisione dopo il trasferimento del pattern. Il supporto di riscaldamento del wafer deve essere più di un semplice calore: deve garantire una rigorosa disciplina termica esattamente dove avviene il processo.</p>