Lampada riscaldante per barca in quarzo fab

Sun, 07 Jun 2026 03:36:26 +0800

Sul piano di produzione, la cottura del fotoresist non è opzionale—è parte integrante del budget termico. Anche una variazione di una frazione di grado durante il soft bake o il hard bake compromette le dimensioni critiche. Lo si vede immediatamente sul CD-SEM. Abbiamo progettato le nostre lampade di riscaldamento in quarzo per eliminare questa variabilità dall’equazione.

Cosa conta, tecnicamente

Queste lampade irradiano il wafer con infrarossi a onda corta attraverso quarzo ad alta purezza, quindi il calore è diretto, rapido e strettamente controllato. La specifica chiave è l’uniformità a livello wafer di ±0,1°C su tutta la barca, che garantisce una rimozione del solvente costante e un flusso del polimero stabile.
Operano in cleanroom di Classe 1–100 e mantengono condizioni stabili senza generare particelle una volta raggiunto lo stato stazionario. La ripetibilità della potenza erogata rimane stretta per migliaia di cicli. Per l’ingegnere di processo, ciò significa che il profilo termico non è una variabile imprevedibile, ma un parametro da fissare e monitorare senza sorprese.

Quarzo on Twin Tube Infrared Heating Tech

Lampada riscaldante per barca in quarzo fab

Cosa conta, tecnicamente