Lampada riscaldante per la lavorazione dei wafer in SiC
Sul banco di lavoro, quel wafer in SiC rimane lì, in attesa che avvenga il processo di essiccazione del fotorestringente, necessario per fissare la...
Riscaldatore per la lavorazione ottica dei wafer
On the fab floor, il processo del photoresist non tollera derive termiche. Una variazione di temperatura hot/cold di 0,5°C sul wafer durante il soft...