Mantenere le wafer MEMS pulite durante la fase di essiccazione
Se avete una sala pulita di classe 100, sicuramente conoscete bene il problema legato all’emissione di gas o alla presenza di particelle indesiderate nei punti sbagliati. Questo accade solitamente durante la fase di essiccazione. La maggior parte dei riscaldatori tradizionali non è adatta a questo scopo: tendono infatti a rilasciare detriti microscopici o composti organici volatili non appena vengono riscaldati.
Ecco perché preferiamo utilizzare lampade a raggi infrarossi in quarzo di alta purezza.
Perché il quarzo?
Si tratta semplicemente di una questione legata al materiale utilizzato. Utilizziamo silice fusa con quasi zero impurità, quindi non c’è il rischio che contaminazioni metalliche rovinino i sensori MEMS. A differenza di quei riscaldatori rivestiti di metallo, questi tubi in quarzo fungono da barriera non reattiva. I raggi infrarossi passano direttamente attraverso lo strato liquido presente sulla superficie della wafer, essiccandola rapidamente senza mai toccarla effettivamente. Nessun contatto significa nessuna abrasione, né contaminazione incrociata. Semplice.
Ottenere la giusta temperatura
Per accelerare i cicli di essiccazione, utilizziamo radiazioni a onde corte. L’obiettivo è trasferire l’energia direttamente sulla superficie della wafer, evitando così di riscaldare tutto l’aria presente nella camera.
Tuttavia, bisogna prestare attenzione alla densità di potenza. Queste lampade aumentano la loro intensità in pochi secondi, il che è un vantaggio… ma tale intensità può causare stress termico se la wafer non è perfettamente centrata. Consiglio sempre di utilizzare un controllore PID preciso: questo permette di mantenere una temperatura costante e di evitare che si creino punti caldi che possano danneggiare le strutture MEMS.
Integrarle nel proprio sistema
Abbiamo progettato queste lampade in modo che possano essere sostituite facilmente, integrandosi perfettamente nel vostro sistema esistente. Abbiamo eliminato tutti i collanti non necessari e abbiamo utilizzato ceramiche resistenti alle alte temperature per i supporti. In questo modo, nulla può staccarsi e finire nella linea di produzione.
Tuttavia, c’è un problema: il quarzo di alta purezza è chimicamente inerte, ma anche fragile. Il personale deve essere molto delicato nell’utilizzarle. È fondamentale che indossino guanti privi di pelucchi, ogni singola volta. Anche un’unica impronta digitale può lasciare residui oleosi che, una volta riscaldati, possono danneggiare il quarzo. Di conseguenza, si creeranno delle “macchie scure” permanenti, e la distribuzione del calore diventerà disomogenea.