Lampu inframerah dengan unit pisau udara

Tue, 09 Jun 2026 03:21:28 +0800

Di lantai fabrikasi, proses pemanggangan fotoresist bukanlah hal yang bisa diabaikan—ini adalah anggaran termal Anda, jelas dan sederhana. Perubahan 1°C dapat mengubah dimensi kritis, dan satu partikel dari zona panas dapat merusak banyak die yang baik. Itulah sebabnya kami membangun lampu inframerah dengan unit air knife yang menganggap realitas ini sebagai dasar, bukan pengecualian.

Apa yang penting di dalamnya Kami menggabungkan pemancar inframerah gelombang pendek dengan air knife berkecepatan tinggi. Pemancar merespons dalam milidetik, yang menjaga kontrol loop tertutup tetap ketat dan memberikan keseragaman tingkat wafer sebesar ±0.1°C di seluruh permukaan pemanggangan. Air knife menerpa melalui lapisan batas dan menyapu kontaminan mikro, sementara jalur buang terisolasi sehingga jumlah partikel tetap stabil di lingkungan Kelas 1–100. Kepadatan daya dapat disesuaikan untuk wafer berukuran 150 mm hingga 300 mm, dan profil termal diulang dari lot ke lot. Output tetap dalam 2% selama lebih dari 5,000 jam, dan unit ini dirancang agar sesuai dengan antarmuka dan footprint peralatan semikonduktor utama. Mengapa ini bertahan dalam litografi Dalam litografi, soft bake berkaitan dengan penghilangan pelarut dan penetapan stres film; hard bake adalah yang mengunci adhesi sebelum etsa atau pelapisan. Unit ini menstabilkan kedua langkah tersebut, sehingga Anda dapat mengurangi pekerjaan ulang dan meningkatkan hasil lini. Peningkatan cepat memangkas waktu siklus, dan kontrol waktu tinggal yang tepat menjaga anggaran termal tetap sesuai spesifikasi tanpa overshoot. Penggunaan energi menurun karena pemancar memanaskan target, bukan bingkai di sekitarnya, dan air knife menjaga optik dan ruang tetap lebih dingin. Hasilnya adalah kontrol dimensi kritis yang dapat diprediksi, lebih sedikit limbah, dan lebih sedikit penghentian tak terencana di lini. Apa yang perlu diperhatikan saat instalasi Air knife meningkatkan kecepatan lokal, jadi ukuran saluran buang perlu disesuaikan untuk menjaga tekanan negatif di jendela proses—jika tidak, turbulensi dapat meningkatkan jumlah partikel. Instalasi cukup sederhana pada platform alat standar, tetapi strategi saluran dan filter perlu disesuaikan dengan geometri ruang dan kelas cleanroom. Kami menyediakan gambar antarmuka dan resep validasi, tetapi Anda perlu koordinasi yang ketat dengan tim integrasi alat untuk memenuhi syarat unit dan mengunci profil termal.

Unit on Twin Tube Infrared Heating Tech

Lampu inframerah dengan unit pisau udara