http://twintube-ir.com/id/tags/optik/ Recent content in Optik on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo id Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/id/posts/optical-wafer-processing-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/id/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Pemanas pemrosesan wafer optik"></p> <p>Di lantai fab, pemrosesan photoresist tidak mentolerir pergeseran termal. Sebaran suhu panas/dingin sebesar 0,5°C di seluruh wafer selama soft bake atau hard bake akan <a href="https://goldisgood.com">terlihat</a> sebagai variasi garis lebar, dan satu kejadian partikel dapat merusak banyak area. Anda <a href="https://henruite.com">membutuhkan</a> pemanas pemrosesan wafer yang berperilaku seperti konstanta proses tetap, bukan variabel lain.</p> <p>Yang benar-benar penting adalah pengiriman panas yang dapat diulang, tanpa melawan kondisi ruang bersih. Kami membangun pemanas pemrosesan wafer optik kami di sekitar gelombang pendek inframerah (SWIR) dan arsitektur termal berlapis kuarsa, dan kami telah memverifikasi keseragaman suhu wafer ±0,1°C pada wafer 300 mm. Alat ini beroperasi di ruang bersih Kelas 1–100, <a href="https://o-yate.com">dengan</a> nol generasi partikel yang terverifikasi hingga ambang batas sub-0,1 μm. Profil pemanggangan photoresist run-to-run tetap konsisten, dan dalam jendela produksi dapat beroperasi 24/7 tanpa downtime tak terduga.</p>