Mempertahankan Kebersihan Wafer MEMS Selama Proses Pengeringan
Jika Anda menggunakan ruang bersih kelas 100, Anda pasti sudah mengenal masalah yang muncul akibat adanya gas atau partikel kecil yang tidak seharusnya ada di sana. Hal ini biasanya terjadi selama proses pengeringan. Pemanas standar umumnya tidak cocok untuk digunakan dalam proses ini; pemanas tersebut cenderung melepaskan debu mikroskopis atau senyawa organik volatil (VOC) begitu panas.
Itulah mengapa kami menggunakan lampu IR berbahan kuarsa sintetis berkualitas tinggi.
Mengapa kuarsa?
Hal ini disebabkan oleh sifat bahan tersebut. Kami menggunakan silika yang hampir bebas dari kotoran, sehingga Anda tidak perlu khawatir akan kontaminasi logam yang dapat merusak sensor MEMS Anda. Berbeda dengan pemanas berlapis logam, tabung kuarsa ini berfungsi sebagai penghalang yang tidak reaktif. Sinar IR dapat menembus lapisan cairan pada wafer, sehingga wafer dapat dikeringkan dengan cepat tanpa perlu bersentuhan langsung dengan permukaan wafer. Tidak ada kontak berarti tidak ada goresan, dan tidak ada risiko kontaminasi silang. Sangat sederhana.
Menyesuaikan Intensitas Panas
Untuk mempercepat proses pengeringan, kami menggunakan radiasi IR berpanjang gelombang pendek. Tujuannya adalah agar energi dapat ditransfer langsung ke permukaan wafer, bukan digunakan untuk memanaskan udara di dalam ruangan. Namun, Anda perlu berhati-hati dengan intensitas panasnya. Lampu ini dapat mencapai suhu tinggi dalam hitungan detik, tetapi intensitas tersebut dapat menyebabkan stres termal jika wafer tidak diletakkan dengan tepat. Saya selalu menyarankan penggunaan kontroler PID yang akurat. Dengan cara ini, suhu dapat dikontrol dengan baik, sehingga tidak akan terjadi penyebaran panas yang tidak merata.
Pemasangan Lampu tersebut
Kami merancang lampu ini agar dapat dipasang secara langsung menggantikan lampu yang ada saat ini. Kami juga menghilangkan semua bahan perekat yang tidak diperlukan, dan menggunakan bahan keramik tahan panas sebagai penopangnya. Dengan demikian, tidak akan ada bagian yang terlepas ke dalam jalur produksi Anda.
Namun, ada satu hal yang perlu diperhatikan. Kuarsa berkualitas tinggi memang bersifat kimia yang inert, tetapi juga rapuh. Tim Anda perlu berhati-hati saat memasang lampu ini. Pastikan mereka menggunakan sarung tangan yang bebas kotoran, setiap kali. Bahkan satu saja sidik jari dapat meninggalkan sisa minyak yang akan merusak permukaan kuarsa ketika panas. Akibatnya, akan muncul bintik hitam permanen, dan distribusi panas pun akan menjadi tidak merata.