सूखने की प्रक्रिया के दौरान अपने MEMS वेफरों को साफ रखना
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम में काम कर रहे हैं, तो आपको गैसों के निकलने या अनचाहे कणों के वहाँ मौजूद होने की समस्या का अनुभव होगा। ऐसा आमतौर पर सूखने की प्रक्रिया के दौरान ही होता है। आम हीटर ऐसी परिस्थितियों में काम नहीं कर पाते; क्योंकि वे गर्म होते ही सूक्ष्म कणों को छोड़ते हैं, या वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड्स (VOCs) को छोड़ते हैं।
इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज IR लैंपों का ही उपयोग करते हैं।
क्यों क्वार्ट्ज?
यह तो सामग्री की गुणवत्ता का ही परिणाम है। हम लगभग शुद्धता वाले सिलिका का ही उपयोग करते हैं; इसलिए आपको धातुओं के कारण होने वाली समस्याओं की चिंता करने की आवश्यकता ही नहीं है।
धातु-आवरित हीटरों के विपरीत, ये क्वार्ट्ज ट्यूबें गैर-प्रतिक्रियाशील बाधा का काम करती हैं। IR विकिरण सीधे वेफर की सतह से होकर गुजरता है, जिससे वेफर तेजी से सूख जाता है… बिना सतह को छूए ही। कोई संपर्क न होने के कारण कोई खरोंच नहीं पड़ती… और कोई आपसी संदूषण भी नहीं होता। बहुत ही सरल।
उचित तापमान प्राप्त करना
सूखने की प्रक्रिया को तेज करने हेतु हम शॉर्ट-वेव IR विकिरण का ही उपयोग करते हैं। इसका उद्देश्य ऊर्जा को सीधे वेफर की सतह पर ही लगाना है… न कि कमरे में मौजूद हवा को गर्म करने में ऊर्जा बर्बाद करना।
लेकिन ध्यान रखने योग्य बात यह है कि ऊर्जा-घनत्व पर ध्यान देना आवश्यक है। ये लैंप कुछ ही सेकंडों में गर्म हो जाते हैं… लेकिन यदि वेफर ठीक से केंद्रित न हो, तो ऐसी तीव्र गर्मी से वेफर को नुकसान पहुँच सकता है। मैं हमेशा प्रीसीज़िड PID कंट्रोलर का ही उपयोग करने की सलाह देता हूँ… ऐसा करने से सब कुछ स्थिर रहता है… और MEMS संरचनाओं को कोई नुकसान नहीं पहुँचता।
इन्हें अपनी उत्पादन प्रणाली में लगाना
हमने इन्हें ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वे आपकी मौजूदा उत्पादन प्रणाली में आसानी से लग सकें। हमने सभी अनावश्यक गोंदों को हटा दिया है… एवं सहारे के लिए उच्च-तापमान वाले सिरेमिकों का ही उपयोग किया है। इस तरह, कोई भी अवशेष आपकी उत्पादन प्रणाली में नहीं जाएगा।
लेकिन एक समस्या तो है…
उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज रासायनिक रूप से निष्क्रिय होता है… लेकिन यह बहुत ही भंगुर भी होता है। इसलिए आपकी टीम को बहुत ही सावधान रहना होगा… हर बार बिना धूल वाले दस्तानों का ही उपयोग करना होगा। एक ही उंगली के निशान से भी तेल जम जाता है… जिससे क्वार्ट्ज में दाग पड़ जाता है… और तापमान वितरण भी असमान हो जाता है।