http://twintube-ir.com/he/tags/%D7%95%D7%95%D7%A4%D7%9C/ Recent content in וופל on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo he Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/he/posts/optical-wafer-processing-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/he/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="מחמם לעיבוד וופרים אופטי"></p> <h1 id="רצפת-המפעל">רצפת המפעל</h1> <p>עיבוד פוטורזיסט אינו סובל סטייה תרמית. הפרש של 0.5°C בטמפרטורת חם/קר על פני הוופר במהלך אפייה רכה או קשה מתבטא בשוני ברוחב הקווים, ואירוע של חלקיק אחד יכול לפגוע בהרבה. נדרש מחמם לעיבוד וופרים המתפקד כקבוע תהליך יציב, ולא כמשתנה נוסף.</p> <p>מה שחשוב בפועל הוא אספקת חום חוזרת ונשנית, מבלי להיאבק עם חדר הניקיון. בנינו את מחמם העיבוד האופטי שלנו על בסיס אינפרא-אדום גל קצר (SWIR) וארכיטקטורה תרמית משופרת בקוורץ, ואימותנו אחידות ברמת הוופר של ±0.1°C על וופרים בקוטר 300 mm. הוא פועל בחדרי נקיון Class 1–100, עם אימות לא יצירת חלקיקים עד לסף של מתחת ל-0.1 μm. פרופילי אפיית הפוטורזיסט בין ריצות נשמרים עקביים, ובחלונות הייצור הוא מתפקד 24/7 ללא תקלות בלתי מתוכננות.</p>