שמירה על שטחי ה-MEMS נקיים לחלוטין במהלך תהליך הייבוש
אם אתם עובדים בחדר נקי מסוג Class 100, אתם בוודאי מכירים את הבעיות שנוצרות כתוצאה מהפרשת גזים או חלקיקים שמופיעים במקומות לא רצויים. דבר זה קורה בדרך כלל בשלב הייבוש. רוב החיממים הסטנדרטיים אינם מתאימים למטרה זו – הם עלולים לפלוט חלקיקים מיקרוסקופיים או חומרים אורגניים רגישים לחום, מיד כשהם מתחממים.
לכן אנו משתמשים בנורות IR עשויות קוורץ בעל רמת טוהר גבוהה.
למה קוורץ?
הסיבה נעוצה בחומר עצמו – אנו משתמשים בסיליקה מותכת ללא כמעט שום חומרים מזהמים. כך אין צורך לדאוג שחומרים מתכתיים יפגעו בחיישני ה-MEMS שלכם.
בניגוד לחיממים העשויים מתכת, צינורות הקוורץ פועלים כמחסום לא-ריאקטיבי. קרינת ה-IR עוברת ישירות דרך שכבת הנוזל על פני הוואף, וכך הוואף נייבש במהירות, מבלי שהחום יפגע בפני השטח. ללא מגע, אין סיכוי לסדקים או לזיהום. פשוט.
שליטה בטמפרטורה
כדי שתהליך הייבוש יתבצע במהירות, אנו משתמשים בקרינת IR בגלים קצרים. המטרה היא להעביר את האנרגיה ישירות לפני השטח של הוואף, במקום לבזבז אותה על חימום כל האוויר בחדר.
אך יש כאן בעיה – יש להיות זהירים עם עוצמת החום. נורות אלו מתחממות בתוך שניות, מה שנהדר, אך עוצמה גבוהה עלולה לגרום ללחץ תרמי אם הוואף אינו ממוקם בצורה מדויקת. אני תמיד ממליץ להשתמש במערכת שליטה PID מדויקת. זה מבטיח שהטמפרטורה תישאר יציבה, ומונע סדקים במבני ה-MEMS.
התאמה למערכת שלכם
עיצבנו את הנורות האלו כך שהן יתאימו ישירות למערכת שלכם. הסרנו את כל החומרים המיותרים, והחלפנו אותם בחומרים סראמיים עמידים לחום. כך, שום דבר לא יפול לתוך קו הייצור שלכם.
אך יש עוד בעיה – קוורץ בעל רמת טוהר גבוהה הוא חומר אינרט מבחינה כימית, אך הוא גם שביר. צוות העובדים צריך להיות זהיר מאוד. חייבים להשתמש בכפפות ללא שערות – בכל פעם. אפילו טביעת אצבע אחת עלולה להשאיר שאריות שמן שיפגעו בקוורץ כשהוא יתחמם. כך ייווצרו “כתמים כהים” קבועים, והחלוקה של החום לא תהיה אחידה.