http://twintube-ir.com/fr/tags/d%C3%A9gas/ Recent content in Dégas on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo fr Sat, 20 Jun 2026 05:27:04 +0800 http://twintube-ir.com/fr/posts/wafer-degas-infrared-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:27:04 +0800 http://twintube-ir.com/fr/posts/wafer-degas-infrared-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Chauffage infrarouge à dégazage par wafer"></p> <p>Sur le poste de lithographie, une zone à température élevée de 2°C sur la wafer pendant le processus de séchage peut altérer les dimensions critiques de celle-ci, et ce, même après des heures d’exposition. On ne peut pas corriger ces écarts thermiques après chaque lot de fabrication. Le chauffage infrarouge permet de <a href="https://henruite.com">maintenir</a> la température souhaitée – c’est-à-dire celle qui convient au profil du revêtement photosensible, et non celle liée aux variations du processus.</p> <p><strong>Ce qui est important techniquement</strong> Nous utilisons des rayons infrarouges à ondes <a href="https://o-yate.com">courtes</a>, avec un chauffage radiant rapide et direct, ajusté en fonction de la réaction de la wafer elle-même. Cela permet d’obtenir une uniformité thermique de ±0,1°C sur toute la surface de la wafer, ainsi qu’une répétabilité de température constante, étape après étape. Ce système fonctionne dans des chambres propres de classe 1–100 ; il ne génère aucune particule et utilise un système hermétique avec faible émission de gaz. Ainsi, on obtient une performance stable 24/7, sans pannes inattendues, et avec des intervalles de maintenance prévisibles.</p>