Maintenir vos wafers MEMS propres pendant le processus de séchage
Si vous travaillez dans une salle propre de classe 100, vous connaissez certainement le problème des particules indésirables qui apparaissent là où elles ne devraient pas être. Cela se produit généralement pendant la phase de séchage. La plupart des chauffages standards ne sont pas adaptés à cette tâche : ils ont tendance à libérer des débris microscopiques ou des composés organiques volatils dès qu’ils se réchauffent.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes à rayonnement infrarouge en quartz synthétique de haute pureté.
Pourquoi le quartz ?
Il s’agit avant tout du matériau utilisé. Nous utilisons de la silice fusionnée, presque sans impuretés. Ainsi, vous n’avez pas à craindre que des contaminants métalliques endommagent vos capteurs MEMS. Contrairement aux chauffages recouverts de métal, ces tubes en quartz agissent comme une barrière non réactive. Le rayonnement infrarouge traverse directement la couche liquide sur la surface du wafer, permettant ainsi un séchage rapide, sans toucher la surface elle-même. Pas de contact, donc pas de rayures ni de contamination croisée. Simple.
Ajuster la température idéale
Pour accélérer les cycles de séchage, nous utilisons des lampes émettant des ondes infrarouges à courte longueur d’onde. L’objectif est de diriger l’énergie directement vers la surface du wafer, plutôt que de la gaspiller en chauffant tout l’air présent dans la chambre. Mais il faut faire attention à la densité d’énergie. Ces lampes s’allument en quelques secondes, ce qui est bien, mais cette intensité peut provoquer des contraintes thermiques si le wafer n’est pas parfaitement centré. Je conseille toujours d’utiliser un contrôleur PID précis. Cela permet de maintenir une température constante et d’éviter que des zones trop chaudes ne détériorent les structures MEMS.
Intégration dans votre chaîne de production
Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles puissent être intégrées directement dans votre installation existante. Nous avons supprimé tous les adhésifs inutiles et utilisé des matériaux céramiques résistants à haute température pour les supports. Ainsi, rien ne risque de se détacher et de contaminer votre chaîne de production.
Cependant, il y a un bémol : le quartz de haute pureté est chimiquement inerte, mais il est aussi fragile. Votre équipe doit être très prudente. Assurez-vous qu’ils utilisent des gants sans peluches, à chaque fois. Même une seule empreinte digitale peut laisser des résidus d’huile qui se gravent dans le quartz lorsqu’il se réchauffe. Vous obtiendrez alors des taches permanentes, et la distribution de la chaleur sera désordonnée.