http://twintube-ir.com/fa/tags/%D8%AF%DA%AF%D8%A7/ Recent content in دگا on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo fa Sat, 20 Jun 2026 05:27:05 +0800 http://twintube-ir.com/fa/posts/wafer-degas-infrared-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:27:05 +0800 http://twintube-ir.com/fa/posts/wafer-degas-infrared-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="گرمکن مادون قرمز برای خالیسازی گاز از ویفرها"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، وجود نقاط داغ با دمای ۲ درجه سانتی‌گراد روی ویفر، در حین فرآیند گرم کردن آن، می‌تواند باعث تغییر ابعاد کلیدی ویفر شود؛ همچنین، این وضعیت می‌تواند باعث اتلاف ساعت‌ها زمان لازم برای فرآیند تولید شود. نمی‌توان پس از هر بار تولید، به دنبال جبران این تغییرات حرارتی بود. هیتر مادون قرمز مورد استفاده برای خارج کردن گازهای اضافی از ویفر، باعث می‌شود که دمای ویفر در محدوده مناسبی باقی بماند؛ یعنی دمای ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد باقی می‌ماند، و این وضعیت در هر بار تولید تکرار می‌شود. این دستگاه در اتاق‌های پاکسازی کلاس ۱-۱۰۰ کار می‌کند؛ هیچ ذره‌ای تولید نمی‌شود، و از طراحی بسته و کم‌گازخروجی استفاده می‌شود. بنابراین، می‌توان از این دستگاه برای عملکرد ۲۴/۷ استفاده کرد؛ بدون هیچ مشکلی، و با فاصله‌های زمانی مناسب برای تعمیرات.</p>