Lámpara de calentamiento para bote de cuarzo fab

Sun, 07 Jun 2026 03:36:26 +0800

En el suelo de la fábrica, el horneado de fotoresistencia no es opcional: es el presupuesto térmico. Dejar que el horneado suave o el horneado duro se desvíen incluso una fracción de grado, y las dimensiones críticas se alteran. Lo ves instantáneamente en el CD-SEM. Construimos nuestras lámparas de calentamiento de cuarzo para eliminar esa variabilidad de la ecuación.

Lo que importa, técnicamente

Estas lámparas impactan el wafer con infrarrojo de onda corta a través de cuarzo de alta pureza, por lo que el calor es directo, rápido y estrechamente controlado. La especificación clave es la uniformidad a nivel de wafer de ±0.1°C a lo largo del barco, lo que mantiene la eliminación de solventes consistente y el flujo de polímeros estable. Funcionan en salas limpias de Clase 1 a 100 y se mantienen estables con generación cero de partículas una vez que están en estado estable. La repetibilidad de salida se mantiene constante durante miles de ciclos. Para el ingeniero de procesos, eso significa que el perfil térmico no es una variable aleatoria, solo otro parámetro que puedes fijar y olvidar.

Barco on Twin Tube Infrared Heating Tech

Lámpara de calentamiento para bote de cuarzo fab

Lo que importa, técnicamente