http://twintube-ir.com/es/tags/%C3%B3ptico/ Recent content in Óptico on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo es Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/es/posts/optical-wafer-processing-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/es/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Calentador para procesamiento óptico de obleas"></p> <p>En la <a href="https://henruite.com">planta</a> de fabricación, el procesamiento de fotorresistencias no tolera la deriva térmica. Una variación de 0.5°C en la temperatura durante el soft bake o hard bake en el wafer se traduce en variaciones en el ancho de línea, y un solo evento de partícula puede afectar seriamente la producción. Se requiere un calentador para procesamiento de wafers que funcione como una constante fija del proceso, no como una variable más.</p> <p>Lo que realmente importa es la entrega repetible de calor, sin interferir con las condiciones de la sala limpia. Construimos nuestro calentador óptico para procesamiento de wafers alrededor de la tecnología infrarroja de onda corta (SWIR) y una arquitectura térmica mejorada con cuarzo, y hemos verificado una uniformidad a nivel de wafer de ±0.1°C en wafers de 300 mm. Opera en salas limpias Clase 1–100, con generación de partículas cero verificada hasta umbrales inferiores a 0.1 μm. Los perfiles de horneado de fotorresistencia se mantienen consistentes de corrida a corrida, y durante las ventanas de producción soporta operación continua 24/7 sin tiempos muertos no planificados.</p>