Mantener las obleas MEMS impecables durante el proceso de secado
Si opera en una sala limpia de clase 100, seguramente ya conoce el problema de la emisión de gases o la presencia de partículas indeseadas en lugares donde no deberían estar. Esto suele ocurrir durante la fase de secado. La mayoría de los calentadores convencionales no son adecuados para esta tarea: suelen liberar residuos microscópicos o compuestos orgánicos volátiles tan pronto como se calientan.
Por eso, optamos por lámparas de infrarrojos hechas de cuarzo sintético de alta pureza.
¿Por qué cuarzo?
Se debe al material utilizado. Utilizamos sílice fundida con prácticamente cero impurezas, así que no hay riesgo de contaminación metálica que dañe los sensores MEMS. A diferencia de esos calentadores revestidos de metal, estos tubos de cuarzo actúan como barreras no reactivas. La radiación infrarroja atraviesa directamente la capa líquida sobre la oblea, secándola rápidamente sin necesidad de entrar en contacto con su superficie. Sin contacto, no hay arañazos ni contaminación cruzada. Simples.
Controlar la temperatura adecuadamente
Para acelerar los ciclos de secado, utilizamos radiación infrarroja de onda corta. El objetivo es dirigir la energía directamente hacia la superficie de la oblea, en lugar de desperdiciarla calentando todo el aire en la cámara. Pero hay que tener cuidado con la densidad de potencia. Estas lámparas se encienden en segundos, lo cual es bueno, pero esa intensidad puede causar estrés térmico si la oblea no está perfectamente centrada. Siempre recomiendo utilizar un controlador PID preciso. Así, se mantiene la estabilidad y se evitan esos puntos calientes que podrían deformar las estructuras MEMS.
Instalarlas en su línea de producción
Hemos diseñado estas lámparas para que se adapten fácilmente a su sistema actual. Hemos eliminado todo tipo de adhesivos innecesarios y hemos utilizado cerámicas resistentes a altas temperaturas para los soportes. De esta manera, nada se desprenderá y afectará su línea de producción.
Pero hay un detalle importante: el cuarzo de alta pureza es químicamente inerte, pero también es frágil. Su equipo debe ser muy cuidadoso. Asegúrense de usar guantes sin pelusa, cada vez que trabajen con ellas. Incluso una simple huella dactilar deja residuos de aceite que se incrustan en el cuarzo cuando se calienta. Eso causará manchas permanentes y hará que la distribución del calor sea irregular.