Controller für digitale Infrarot Trockner

Fri, 17 Jul 2026 05:53:28 +0800

Aufhören mit dem Erhitzen der Luft: Eine bessere Methode zur Trocknung von Halbleitern
Bei der Herstellung von Halbleitern ist es unerlässlich, Feuchtigkeit zu beseitigen. Doch lange Zeit wurde dazu meistens auf große Konvektionsöfen zurückgegriffen. Das Problem: Solche Öfen verbrauchen enorm viel Energie. Man muss schließlich die gesamte Kammer – also jeden Zentimeter der Luft – erhitzen, nur um einen kleinen Teil zu trocknen. Das ist eine enorme Verschwendung.

Deshalb haben wir auf digitale IR-Trocknungscontroller umgestellt. Anstelle der Erwärmung des ganzen Raumes wird hiermit gezielt nur die Stelle erwärmt, die getrocknet werden muss.

China Wafer Trockner Hersteller

Mon, 08 Jun 2026 04:52:10 +0800

Auf der Fertigungsebene reicht eine Drift von einem halben Grad während des Photoresist-Backens aus, um Linienbreiten zu verschieben und den Ertrag zu beeinträchtigen. Temperatur darf nicht als Ratespiel behandelt werden – es ist eine thermische Steuerung erforderlich, die sich wie ein echter Prozessparameter verhält und kein bewegliches Ziel ist.

Technisch relevant ist

Wir haben den Wafer-Trockner auf Reproduzierbarkeit ausgelegt: Wafer-übergreifende Gleichmäßigkeit innerhalb ±0,1°C, Sollwertstabilität über Softbake und Hardbake hinweg sowie Rampenraten, die das thermische Budget des Photoresists beachten. Der Heizstab verwendet quarzstabilisierte Elemente mit geschlossenem Regelkreis, sodass kein Überschwingen bei jedem Türzyklus auftritt.

Trockner on Twin Tube Infrared Heating Tech

Controller für digitale Infrarot Trockner

China Wafer Trockner Hersteller