Sensor on Twin Tube Infrared Heating Tech

Intelligente Sensorkapselung für Infrarot

Wed, 29 Jul 2026 10:00:06 +0800

Hören Sie auf, Energie im Verpackungssystem der Sensoren zu verschwenden!
Wenn Sie schon einmal Zeit damit verbracht haben, Wafer für intelligente Sensoren zu bearbeiten, wissen Sie, wie frustrierend das ist. Man gibt Energie in die Maschine – doch ein großer Teil dieser Energie geht einfach verloren. Sie entweicht ins Gehäuse und verschwindet dort, anstatt tatsächlich auf dem Substrat anzukommen. Das ist eine Verschwendung von Energie und Zeit.

Wir haben eine Lösung gefunden, um diesen Energieverlust zu verhindern – mit goldbeschichteten Reflektoren.

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Tue, 28 Jul 2026 04:44:18 +0800

Korrektes Einsatz von IR-Heizung und -Sensoren in Wafer-Fabriken
Es gibt derzeit großen Druck darauf, Halbleiterwerkzeuge kohlenstoffneutral zu gestalten. Dazu weichen wir von der herkömmlichen Widerstandsheizung ab und nutzen stattdessen Kurzwellen-Infrarotstrahlung.

Der große Vorteil dabei ist, dass die Oberfläche des Wafers direkt erhitzt wird. Es ist nicht mehr notwendig, den gesamten Raum zu erhitzen, nur damit das Wafer die richtige Temperatur erreicht. Dadurch wird eine Menge Abwärme vermieden – und die Energiekosten sinken.

Die Details zur Heizung
In Wafer-Werkzeugen geht es letztendlich um die Hitzedichte. Wir verwenden daher Halogenlampen, denn sie sind äußerst schnell. Sie können die Temperatur schneller anheben als alle anderen Lampentypen.

Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensor Wafern

Fri, 24 Jul 2026 11:17:01 +0800

Wie man die MEMS-Wafer während des Trocknungsprozesses sauber hält
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem von Ausgasungen oder dem Auftreten von Partikeln an Stellen, an denen sie nicht sein sollten. Das passiert meist während der Trocknungsphase. Die meisten herkömmlichen Heizgeräte eignen sich nicht dafür – sie geben mikroskopisch kleine Partikel ab oder lassen flüchtige organische Verbindungen entweichen, sobald sie erhitzt werden.

Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz-IR-Lampen.
Warum Quarz?
Es geht dabei um das Material selbst. Wir nutzen geschmolzenes Silizium mit nahezu keinerlei Verunreinigungen. Dadurch müssen Sie sich keine Sorgen machen, dass metallische Verunreinigungen Ihre MEMS-Sensoren beschädigen könnten. Im Gegensatz zu den heizenden Geräten mit Metallgehäusen fungieren diese Quarztuben als reaktionsfreie Barriere. Die Infrarotstrahlung dringt direkt durch die Flüssigkeitsschicht auf der Waferoberfläche und trocknet sie schnell – ohne die Oberfläche berühren zu müssen. Kein Kontakt bedeutet keine Kratzer und keine Kreuzkontamination. Einfach.

Heizung zur Herstellung von Wasserstoff Sensoren

Mon, 20 Jul 2026 11:23:27 +0800

Dinge erhitzen – ohne sie in die Luft zu jagen
Die Herstellung von Wasserstoffsensoren erfordert eine beträchtliche Menge an Wärme. Doch es gibt ein Problem: Wenn man mit flüchtigen Chemikalien arbeitet, wird diese Wärme zur Gefahr. Ein falscher Funke oder eine Oberfläche, die etwas zu heiß ist, kann dazu führen, dass es zu einem Brand kommt. Das ist sicherlich nicht das, was jemand erleben möchte.

Deshalb verwenden wir keine gewöhnlichen Heizgeräte. Wir nutzen spezielle Infrarotlampen, die eigens für solche gefährlichen Umgebungen entwickelt wurden.

Präziser IR Sensor für Wafer

Sat, 11 Jul 2026 08:32:49 +0800

Wenn man eine Reinraumklasse 100 betreibt, reicht „fast sauber“ nicht aus. Schon ein winziger Splitter von einem Heizelement – etwas, was man sogar mit bloßem Auge nicht erkennen kann – kann dazu führen, dass die gesamte Charge an Wafern unbrauchbar wird. Das ist ein Albtraum.

Deshalb haben wir auf Standardglas für unsere Infrarotlampen verzichtet. Standardglas enthält Verunreinigungen, die dem hohen Temperaturdruck nicht standhalten können. Sie zerfallen und verursachen Probleme. Stattdessen verwenden wir hochreines synthetisches Quarz. Es bleibt stabil und sauber.