Quartzboot Heizlampe Fabrikation

Sun, 07 Jun 2026 03:36:26 +0800

Auf dem Fertigungsboden ist das Backen des Photoresists keine Option – es ist Teil des thermischen Budgets. Weicht der Softbake- oder Hardbake-Prozess auch nur um einen Bruchteil eines Grads ab, ändern sich die kritischen Abmessungen. Das sieht man sofort am CD-SEM. Wir haben unsere Quarz-Boot-Heizlampen so konstruiert, dass diese Variabilität eliminiert wird.

Technisch relevante Aspekte

Diese Lampen bestrahlen den Wafer durch hochreines Quarz mit kurzwelliger Infrarotstrahlung, sodass die Wärme direkt, schnell und präzise gesteuert wird. Die wichtigste Kenngröße ist die Wafer-Ebenen-Uniformität von ±0,1°C über das gesamte Boot, was für eine gleichmäßige Lösungsmittelentfernung und stabile Polymerflußverhältnisse sorgt.
Sie werden in Reinräumen der Klassen 1–100 eingesetzt und erzeugen im stabilen Betrieb keine Partikel. Die Ausgangsleistung bleibt über mehrere Tausend Zyklen reproduzierbar konstant. Für den Prozessingenieur bedeutet das, dass das thermische Profil kein Unsicherheitsfaktor ist, sondern ein stabiler Parameter, den man „einrichtet und vergisst“.

Boot on Twin Tube Infrared Heating Tech

Quartzboot Heizlampe Fabrikation

Technisch relevante Aspekte