http://twintube-ir.com/cs/tags/wafle/ Recent content in Wafle on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo cs Sat, 20 Jun 2026 05:27:05 +0800 http://twintube-ir.com/cs/posts/wafer-degas-infrared-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:27:05 +0800 http://twintube-ir.com/cs/posts/wafer-degas-infrared-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Infrakový ohřívač na odplyňování waferů"></p> <p>V prostředí litografie může být na povrchu waferu během procesu jemného zahřívání <a href="https://henruite.com">vytvo</a>řen bod s teplotou 2 °C. To může změnit kritické rozměry waferu a zkrátit dobu expozice. Nemůžete po každé sérii výroby opravovat tyto teplotní odchylky. Infračervený ohřívač pro odplyňování waferu udržuje teplotu na správné úrovni – a to na úrovni profilu fotorezistoru, nikoli v důsledku variability procesu.</p> <p><strong>Co je technicky důležité</strong><br> Používáme krátkovlnné infračervené záření s rychlým, přímým ohřevem, přizpůsobeným tak, aby odpovídalo reakci samotného waferu. Díky tomu je dosaženo tepelné jednotnosti waferu v rozsahu ±0,1 °C během celého procesu. Teplota zůstává konstantní i při opakovaných provozech. Tento systém funguje v čistých prostorách třídy 1–100, nevytváří žádné částice a využívá uzavřenou konstrukci s nízkou úrovní uvolňování plynů. Díky tomu máte stabilní výkon po dobu 24/7 – bez neočekávaných poruch a s pravidelnými intervaly údržby.</p>