Vafle on Twin Tube Infrared Heating Tech

Senzor teploty pro nástroj na desky

Tue, 28 Jul 2026 04:44:18 +0800

Správné využití infračerveného zahřívání a senzorů v továrnách na výrobu polovodičů

V současnosti existuje velký tlak na to, aby polovodičové zařízení byla co nejvíce uhlíkově neutrální. Abychom toho dosáhli, opouštíme staré metody odporového zahřívání a místo toho využíváme krátkovlnné infračervené záření.

Velkou výhodou je to, že můžeme působit přímo na povrch desky. Už není potřeba zahřívat celou komoru jen proto, abychom dosáhli správné teploty desky. Tím se eliminuje spousta zbytečného tepla a snižují se náklady na elektřinu.

Ohřívač na sušení destiček senzorů MEMS

Fri, 24 Jul 2026 11:17:01 +0800

Udržování vašich MEMS desek čistých během sušení
Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, určitě znáte ten strašný problém spojený s uvolňováním plynů nebo vznikem nežádoucích částic na místech, kde nemají být. Obvykle se to stává během fáze sušení. Většina běžných vyhřívačů na to prostě není vhodná – mají tendenci uvolňovat mikroskopické nečistoty nebo těkavé organické sloučeniny hned po nahřátí.

Proto používáme IR lampy vyrobené z vysoce čistého syntetického křemene.
Proč právě křemen?
Jde o samotný materiál. Používáme spálenou síru s téměř nulovým obsahem nečistot, takže se nemusíte obávat o kovové kontaminace, které by mohly poškodit vaše MEMS senzory. Na rozdíl od vyhřívačů s kovovou obálkou fungují tyto křemenné trubice jako netečná bariéra. Infračervené záření prochází přímo skrz kapalnou vrstvu na povrchu desky, čímž ji rychle vysuší, aniž by se vůbec dotklo povrchu. Žádný kontakt znamená žádné poškrábání, žádnou křížovou kontaminaci. Jednoduché.

Energeticky úsporný ohřívač čipů

Thu, 23 Jul 2026 11:33:37 +0800

Udržování vašich destiček v čistotě: Pravda o vytápění

Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, už víte, že filtry vzduchu jsou jen polovinou řešení. Skutečný problém spočívá v tom, co nevidíte – uvolňované plyny a drobné částice z vytápěcích prvků mohou poškodit celou várku ještě předtím, než si vůbec všimnete problému.

Proto používáme pro naše vyhřívací zařízení vysoce čistý syntetický křemen. Ten zabrání kontaminaci ještě předtím, než vůbec začne.

Proč materiál opravdu záleží

Standardní sklo nebo levný křemen, který se nachází jinde, obvykle přestávají fungovat, když se teploty zvyšují. Mohou uvolňovat ionty nebo mikročástice přímo na povrch vašich destiček.

Reflektor pro lampu na vytvrzování destiček

Mon, 20 Jul 2026 11:09:22 +0800

Správné zahřátí v vaší výrobně

Pokud jste někdy pracovali s vysoušením destiček, znáte ten noční můru spojenou s pokřivením povrchu nebo nerovnoměrným nanášením chemikálií. Většinou je to způsobeno jednoduchou věcí: teplo neproniká do povrchu rovnoměrně.

Proto se spoléháme na systémy s vysokou odrazivostí v infračerveném spektru. Místo toho, abychom nechali teplo rozptýlit se všude kolem, používáme tyto reflexory k tomu, aby krátkovlnné záření směřovalo přesně tam, kam potřebujeme. V moderní výrobně to nejsou jen obyčejné zrcadla – ony totiž zajistí, že čas potřebný na zpracování zůstane nízký a náklady na energii nevystoupají do nebes.

Bezpečná vzdálenost pro ohřev polovodičových destiček

Mon, 13 Jul 2026 14:32:48 +0800

Správné zahřívání siliciových desek

Při zahřívání siliciových desek je důležitý každý watt. Nejde jen o to zvýšit teplotu – jde také o to zajistit, aby energie skutečně dopadla na desku, a nejen zahřívala stěny komory.

Právě zde přicházejí na řadu reflektory potažené zlatem.

Proč zlato?

Standardní kvartové lampy vysílají energii do všech směrů. V běžné konfiguraci tedy plýtváte polovinou své energie.

To vyřešíme přidáním tenké vrstvy vysoce čistého zlata na reflektor. Tato vrstva odráží více než 98 % této infračervené energie. Místo rozptýleného svitu dostanete soustředěný paprsek záření, který dopadne přímo na desku. Získáte tedy mnohem více tepla tam, kde ho opravdu potřebujete, aniž byste museli použít více energie z lamp. Je to prostě efektivní řešení.

Přesný infračervený senzor pro čipy

Sat, 11 Jul 2026 08:32:52 +0800

Když provozujete čistou místnost třídy 100, „téměř čistota“ nestačí. Jediný drobný úlomek z topného prvku – něco, co ani nemůžete vidět – může zničit celou vaši zásilku waferů. Je to noční můra.

Proto jsme přestali používat běžné sklo pro naše infračervené lampy. Běžné sklo obsahuje nečistoty, které prostě nevydrží vysoké teploty; rozpadají se a způsobují problémy. Místo toho používáme vysoce čistý syntetický křemen. Ten zůstává stabilní a čistý.

Už žádné tajemné plyny
Většina infračervených lamp používá pojivy nebo povlaky, které začínají uvolňovat plynové látky hned, jak se zahřejí. My jsme všechny tyto špinavé látky odstranili.

Světlo pro ohřev při zpracování destiček SiC

Fri, 03 Jul 2026 08:12:42 +0800

Na výrobní lince prostě tam ten polovodičový destička leží a čeká na zahřátí pomocí fotoresistu, které zajistí požadovaný tvar destičky. I malá změna teploty o zlomek stupně může způsobit problémy – kvalita výrobku se začne zhoršovat ještě předtím, než to procesor vůbec zaznamená.

Co je ve skutečnosti důležité Používáme halogenovou žárovku s krátkovlnným infračerveným zářením umístěnou v kvartovém obalu. Tato žárovka umožňuje rychlou tepelnou reakci a zachovává rovnoměrnost teploty na povrchu destičky. Na celé ploše zahřívání udržujeme rozsah teploty na úrovni ±0,1 °C, takže parametry zahřívání zůstávají stabilní v každé sérii výroby.