http://twintube-ir.com/cs/tags/boat/ Recent content in Boat on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo cs Sun, 07 Jun 2026 03:36:26 +0800 http://twintube-ir.com/cs/posts/quartz-boat-heating-lamp-fab/ Sun, 07 Jun 2026 03:36:26 +0800 http://twintube-ir.com/cs/posts/quartz-boat-heating-lamp-fab/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Křemenná lampa na vytápění lodí fab"></p> <p>Na výrobní ploše není pečení fotorezistu volbou – je to tepelný rozpočet. Pokud měkké nebo tvrdé pečení odskočí i o zlomek stupně, kritické rozměry se zkreslí. Okamžitě to vidíte na CD-SEM. Naše topné lampy s křemennou lodí jsme navrhli tak, aby tuto variabilitu eliminovaly.</p> <h2 id="co-je-technicky-podstatné">Co je technicky podstatné</h2> <p>Tyto lampy dopadají na wafer krátkovlnným infrač<a href="https://o-yate.com">erven</a>ým zářením přes vysoce čistý křemen, takže teplo je přímé, rychlé a přísně kontrolované. Klíčovou specifikací je uniformita teploty na úrovni waferu ±0,1°C po celé délce lodě, což udržuje konzistentní odstraňování rozpouštědla a stabilní tok polymeru.<br> Provozují se v čistých prostorách třídy 1–100 a v ustáleném stavu nevytvářejí žádné částice. Opakovatelnost výkonu zůstává přesná po tisíce cyklů. Pro procesního inženýra to znamená, že tepelný profil není neznámá veličina – je to pouze parametr, který lze uzamknout a dál neřešit.</p>