Udržování vašich MEMS desek čistých během sušení
Pokud provozujete čistou místnost třídy 100, určitě znáte ten strašný problém spojený s uvolňováním plynů nebo vznikem nežádoucích částic na místech, kde nemají být. Obvykle se to stává během fáze sušení. Většina běžných vyhřívačů na to prostě není vhodná – mají tendenci uvolňovat mikroskopické nečistoty nebo těkavé organické sloučeniny hned po nahřátí.
Proto používáme IR lampy vyrobené z vysoce čistého syntetického křemene.
Proč právě křemen?
Jde o samotný materiál. Používáme spálenou síru s téměř nulovým obsahem nečistot, takže se nemusíte obávat o kovové kontaminace, které by mohly poškodit vaše MEMS senzory. Na rozdíl od vyhřívačů s kovovou obálkou fungují tyto křemenné trubice jako netečná bariéra. Infračervené záření prochází přímo skrz kapalnou vrstvu na povrchu desky, čímž ji rychle vysuší, aniž by se vůbec dotklo povrchu. Žádný kontakt znamená žádné poškrábání, žádnou křížovou kontaminaci. Jednoduché.
Správné nastavení teploty
Aby sušicí proces probíhal rychle, používáme ultrakrátkovlnné infračervené záření. Cílem je přivést energii přímo na povrch desky, místo abychom ji plýtvali ohřevem veškerého vzduchu v komoře.
Ale je tu jeden problém: musíte dávat pozor na intenzitu tepla. Tyto lampy se za sekundy nahřejí, což je skvělé, ale tato intenzita může způsobit tepelné napětí, pokud není deska dokonale zarovnaná. Vždy doporučuji použít přesný regulátor PID. Ten udržuje všechno v rovnováze a zabrání vzniku „horkých míst“, která by mohla poškodit struktury MEMS desek.
Instalace do vaší výrobní linky
Tyto lampy jsou navrženy tak, aby se daly jednoduše nahradit stávajícími lampami. Odstranili jsme veškeré zbytečné lepidla a místo nich použili keramiku odolnou vůči vysokým teplotám. Takto se nic neodtrhne a nezašpiní vaši výrobní linku.
Je tu však jeden problém: vysoce čistý křemen je sice chemicky inertní, ale zároveň křehký. Vaši pracovníci musí být opatrní. Ujistěte se, že používají rukavice bez chlupů – pokaždé. Dokonce i jeden otisk prstu zanechá olejovou stopu, která se po zahřátí vetře do křemenu. Výsledkem budou trvalé „temné skvrny“ a nerovnoměrné rozložení tepla.