লাইনে রাখা সিসি ওয়েফারটি সেখানেই থাকে; ফটোরেজিস্টকে ঠিকভাবে আটকে রাখার জন্য অপেক্ষা করে। তাপমাত্রায় এমনকি অল্প পরিবর্তনও হলেই ওয়েফারের গুণমান কমে...

On the fab floor, photoresist processing doesn’t forgive thermal drift. A 0.5°C hot/cold spread across the wafer during soft bake or hard bake shows...