শুকানোর প্রক্রিয়ায় MEMS ওয়েফারগুলোকে নির্মল অবস্থায় রাখা
যদি আপনি ক্লাস ১০০ ক্লিনরুম ব্যবহার করেন, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই জানেন যে গ্যাস নির্গমন বা অপ্রয়োজনীয় কণাগুলো অযথাই ওয়েফারের উপর জমে যাওয়ার সমস্যাটি। এটা সাধারণত শুকানোর প্রক্রিয়ায়ই ঘটে। সাধারণ হিটারগুলো এই কাজের জন্য উপযুক্ত নয়; কারণ এগুলো গরম হওয়ার সাথে সাথে ক্ষুদ্র কণাগুলো নির্গত করে অথবা ভোলাটাইল অর্গানিক কম্পাউন্ডগুলো নির্গত করে।
এজন্যই আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিনথেটিক কোয়ার্টজ IR ল্যাম্প ব্যবহার করি।
কেন কোয়ার্টজ?
এর কারণ হলো উপাদানটির গুণমান। আমরা প্রায় শূন্য অশুদ্ধি সম্বলিত ফিউজড সিলিকা ব্যবহার করি; ফলে ধাতব দূষণের কোনো ঝুঁকি থাকে না। ধাতব আবরণযুক্ত হিটারগুলোর বিপরীতে, এই কোয়ার্টজ টিউবগুলো একটি অ-প্রতিক্রিয়াশীল বাধা হিসেবে কাজ করে। IR বিকিরণগুলো ওয়েফারের উপরি স্তর দিয়ে সরাসরি চলে যায়; ফলে ওয়েফারটি দ্রুত শুকিয়ে যায়, আর কোনো ধরনের ক্ষতি হয় না।
সঠিক তাপ প্রদান
শুকানোর প্রক্রিয়াকে দ্রুত করার জন্য আমরা শর্ট-ওয়েভ IR বিকিরণ ব্যবহার করি। এর উদ্দেশ্য হলো শক্তিটিকে সরাসরি ওয়েফারের উপরি স্তরে পৌঁছে দেওয়া; যাতে চেম্বারের বাতাস গরম হয়ে শক্তি নষ্ট না হয়।
কিন্তু এখানে একটি সমস্যা রয়েছে—পাওয়ার ডেনসিটি নিয়ন্ত্রণ করা জরুরি। এই ল্যাম্পগুলো কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই উষ্ণ হয়ে যায়; কিন্তু যদি ওয়েফারটি সঠিকভাবে সার্থকরিত না হয়, তাহলে এই তীব্র তাপ ওয়েফারটিকে ক্ষতিগ্রস্ত করতে পারে। আমি সবসময় নির্ভুল PID কন্ট্রোলার ব্যবহার করার পরামর্শ দিই। এটা পরিস্থিতিকে স্থিতিশীল রাখে এবং MEMS কাঠামোগুলোকে ক্ষতিগ্রস্ত হওয়া থেকে রক্ষা করে।
আপনার লাইনে এগুলো ব্যবহার করা
আমরা এগুলোকে “ড্রপ-ইন রিপ্লেসমেন্ট” হিসেবে ডিজাইন করেছি; ফলে এগুলো আপনার বর্তমান সিস্টেমে সহজেই ব্যবহার করা যাবে। আমরা অপ্রয়োজনীয় গ্লুগুলো অপসারণ করেছি এবং সাপোর্ট হিসেবে উচ্চ-তাপমাত্রার সিরামিক ব্যবহার করেছি। এতে কোনো ধরনের অপ্রয়োজনীয় কণা আপনার উৎপাদন লাইনে পড়বে না।
তবে এখানে একটি সমস্যা রয়েছে—উচ্চ-বিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ রাসায়নিকভাবে নির্জীব হলেও এটি খুবই ভঙ্গুর। আপনার কর্মীদের অবশ্যই সাবধান থাকতে হবে। তাদের অবশ্যই লিন্ট-ফ্রি গ্লাভস ব্যবহার করতে হবে—প্রতিবারই। এমনকি একটি আঙুলের ছাপও কোয়ার্টজে তেলের দাগ রেখে যায়; ফলে ওয়েফারটি ক্ষতিগ্রস্ত হয়। এর ফলে ওয়েফারে চিরস্থায়ী “কালো দাগ” তৈরি হয়, আর তাপ বণ্টনও ঠিক থাকে না।