http://twintube-ir.com/ar/tags/%D8%AA%D9%82%D9%86%D9%8A/ Recent content in تقني on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ar Mon, 01 Jun 2026 20:02:46 +0800 http://twintube-ir.com/ar/posts/technical-support-for-wafer-heating/ Mon, 01 Jun 2026 20:02:46 +0800 http://twintube-ir.com/ar/posts/technical-support-for-wafer-heating/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="الدعم الفني لتسخين الرقائق"></p> <p>في أرض المصنع، تتعلم بسرعة أن انحراف ملف الخبز الناعم حتى بنصف درجة واحدة يمكن أن يغير سمك الفوتوريزست ويؤدي إلى انحراف في الأبعاد الحرجة عبر الرقاقة. عدم تجانس الخبز الصلب يزيد الوضع سوءًا، حيث يظهر على هيئة بقايا بعد التطوير أو بقايا الحفر بعد نقل النمط. دعم تسخين الرقاقة يجب أن يكون أكثر من مجرد حرارة—يجب أن يوفر انضباطًا حراريًا دقيقًا في المكان الذي يحدث فيه العملية.</p> <p><strong>ما يهم تحت الغطاء</strong><br> بنينا وحدات تسخين الرقاقة حول مصادر الأشعة تحت الحمراء القريبة (NIR) ومتوسطة الموجة، مضبوطة على نطاق امتصاص الفوتوريزست لتوفير معالجة سريعة تعتمد على السطح دون تجاوز درجة الحرارة المطلوبة. نحافظ على تجانس حراري عبر الرقاقة عند ±0.1°C، ونضمن تكرارية دقيقة حتى يطبق ملف الخبز نفسه من دفعة إلى أخرى ومن وردية إلى أخرى. التوافق مع غرف النظافة مدمج في التصميم: مواد مطابقة لمستوى Class 1–100، وعدم توليد جزيئات أثناء الارتفاع المستمر وفي حالة الاستقرار، وتوجيه العادم الذي يسحب الغازات المتصاعدة بعيدًا عن الأدوات المجاورة. يعمل النظام 24/7 بدون توقف غير مخطط له خلال فترات الإنتاج، ونحافظ على ميزانية حرارية محكمة لحماية الأفلام الأساسية أثناء الحفر.</p>