http://twintube-ir.com/ar/tags/%D8%A8%D8%B5%D8%B1%D9%8A/ Recent content in بصري on Twin Tube Infrared Heating Tech Hugo ar Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/ar/posts/optical-wafer-processing-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:10:15 +0800 http://twintube-ir.com/ar/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://twintube-ir.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="سخان معالجة الرقائق الضوئية"></p> <p>على أرض المصنع، معالجة الفوتوريزست لا تتسامح مع الانجراف الحراري. انتشار حرارة أو برودة بمقدار 0.5°C عبر الرقاقة أثناء عملية الخبز الناعم أو الخبز الصلب يظهر على شكل تباين في عرض الخطوط، وحادثة جسيم واحدة قد تؤدي إلى تلف كبير. تحتاج إلى سخان معالجة الرقاقة يعمل كثابت عملية محدد، وليس كمتغير إضافي.</p> <p>ما يهم فعليًا هو توصيل الحرارة بشكل متكرر ودون مقاومة من غرفة النظافة. قمنا بتصميم سخان معالجة الرقاقة البصرية حول الأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة (SWIR) وبنية حرارية معززة بالكوارتز، وقد تحققنا من توحيد درجة الحرارة ±0.1°C على مستوى الرقاقة بحجم 300 mm. يعمل في غرف نظافة من الفئة 1–100، مع التحقق من عدم توليد جسيمات حتى عتبات أقل من 0.1 μm. ملفات تعريف خبز الفوتوريزست تظل ثابتة من تشغيل لآخر، وفي أوقات الإنتاج يتحمل التشغيل المستمر 24/7 دون توقف غير مخطط له.</p>