الحفاظ على رقائق MEMS نظيفة أثناء عملية التجفيف
إذا كنت تعمل في غرفة نظيفة من الفئة 100، فأنت بالتأكيد تعرف مدى صعوبة التعامل مع المشاكل المتعلقة بخروج الغازات أو وجود جسيمات غير مرغوب فيها في أماكن غير مناسبة. يحدث ذلك عادةً خلال مرحلة التجفيف. معظم أجهزة التسخين العادية لا تصلح لهذا الغرض، فهي تطلق جسيمات دقيقة أو مركبات عضوية متطايرة بمجرد أن تسخن.
لذلك، نستخدم مصابيح الأشعة تحت الحمراء المصنوعة من الكوارتز عالي النقاء.
لماذا الكوارتز؟
السبب يعود إلى خصائص المادة نفسها. نستخدم سيليكا مصهورة خالية تقريبًا من الشوائب، لذا لا داعي للقلق بشأن تلوث المعادن الذي قد يدمر أجهزة الاستشعار MEMS الخاصة بك.
على عكس أجهزة التسخين المغطاة بالمعادن، فإن أنابيب الكوارتز تعمل كحاجز غير 반응ي. تمر أشعة الأشعة تحت الحمراء مباشرة عبر الطبقة السائلة الموجودة على سطح الرقاقة، مما يؤدي إلى تجفيفها بسرعة دون أن تلامس السطح مباشرة. عدم وجود اتصال يعني عدم وجود خدوش أو تلوث. بسيط جدًا.
تحديد درجة الحرارة المناسبة
لتسريع عملية التجفيف، نستخدم أشعة الأشعة تحت الحمراء ذات الطول الموجي القصير. الهدف هو توجيه الطاقة مباشرة إلى سطح الرقاقة، بدلاً من إهدارها في تسخين الهواء الموجود في الغرفة.
لكن يجب الانتباه إلى كثافة الطاقة المستخدمة. تزداد قوة هذه المصابيح في ثوانٍ، وهو أمر جيد، لكن هذه القوة قد تسبب ضغطًا حراريًا إذا لم تكن الرقاقة موضوعة في المكان المناسب. أنصح دائمًا باستخدام جهاز تحكم PID دقيق، لأنه يساعد في الحفاظ على استقرار الظروف ويمنع تشوه هياكل MEMS الخاصة بك.
تركيبها في الخط الإنتاجي
لقد صممنا هذه المصابيح بحيث يمكن استبدالها مباشرة في الخط الإنتاجي الخاص بك. لقد تم التخلص من جميع المواد اللازمة للالتصاق، واستخدمنا مواد خزفية قادرة على تحمل درجات حرارة عالية. بهذه الطريقة، لن يتساقط أي شيء على خط الإنتاج الخاص بك.
لكن هناك مشكلة واحدة…
الكوارتز عالي النقاء خامل كيميائيًا، لكنه هش أيضًا. يجب على فريق العمل أن يكون حذرًا للغاية، ويجب أن يستخدموا قفازات خالية من الشوائب في كل مرة. حتى بصمة واحدة قد تترك بقايا زيتية تتسبب في تشوه الكوارتز عند تسخينه. سيؤدي ذلك إلى ظهور بقع داكنة دائمة، وسيكون توزيع الحرارة غير متساوٍ.