На лінії обробки цей пластинчатий елемент з SiC просто лежить там, чекаючи на процедуру висушування фотополімеру, яка фіксує потрібний візерунок на поверхні пластини. Навіть незначна зміна температури може призвести до порушення контролю за критичними розмірами – якість продукції починає погіршуватися ще до того, як процес етчінгу взагалі почнеться.
Що насправді має значення Ми використовуємо лампу з короткохвильовим ІЧ-випромінюванням у кварцовому корпусі; це забезпечує швидку термічну реакцію та точний контроль за однорідністю поверхні пластини. Рівень однорідності на поверхні підтримується на рівні ±0,1°C, тож процес висушування залишається стабільним у кожній партії продукції.
Устаткування придатне для використання у чистих приміщеннях класу 1–100; воно складається з матеріалів з низьким рівнем виділення газів та має конструкцію, яка запобігає потраплянню частинок на поверхню пластини. Сила живлення є стабільною, а лампа зберігає свою продуктивність протягом тривалого часу – у нас є пристрої, які працювали понад 5 000 годин із зниженням продуктивності менше ніж на 5%.
Чому це важливо для обробки пластин з SiC Обробка пластин з SiC не дозволяє будь-яких неточностей у контролі температури. Ця лампа допомагає контролювати процес висушування – фотополімер поводиться так, як і повинен, що дозволяє уникнути відхилень у ширині ліній та необхідності повторної обробки.
Процес висушування відбувається швидко, але при цьому процес залишається контрольованим. Чиста робота лампи також допомагає уникнути виникнення дефектів через наявність частинок. У результаті отримуємо прогнозований процес обробки, менше відхилень та високу однорідність між окремими пластинами – саме це потрібно для літографії.
Що може стати перешкодою під час встановлення Встановлення лампи полягає у правильному підборі її розмірів та типу з’єднання до інтерфейсу обладнання виробника. Також важливо правильно налаштувати положення лампи – якщо це не зробити, може зникнути необхідна однорідність поверхні пластини.
Інтенсивність випромінювання лампи є високою, тож необхідно дотримуватися рекомендацій щодо термоуправління та захисту від впливу випромінювання. Якщо цього не робити, можуть виникнути локальні „гарячі точки“. Також необхідно регулярно калібрувати лампу в рекомендовані проміжки часу, щоб температура залишалась контрольованою, а процес обробки – в межах допустимих значень.