Temiz oda koşullarını gerçekten korumak: Isıtma konusundaki gerçekler Yarı iletken ve optik sektörlerinde, küçücük bir toz parçası sadece rahatsız...

Fab yüzeyinde fotoresist pişirme tercihe bağlı değildir—bu, termal bütçedir. Soft bake veya hard bake işlemi bir derece bile kayarsa, kritik boyutlar...