Lâmpada de aquecimento para processamento de wafers de SiC
Lá fora, no processo de produção, a wafer de SiC fica simplesmente parada, aguardando que o fotoresist seja aquecido, o que permite que o padrão...
Aquecedor para processamento óptico de pastilhas
No chão de fábrica, o processamento de fotoresiste não tolera deriva térmica. Uma variação de 0,5°C quente/frio distribuída pelo wafer durante o soft...