Mengapa Pemanasan Inframerah Lebih Baik Daripada Pemanasan Udara Panas di Kilang Pembuatan Semikonduktor
Kebanyakan kilang pembuatan semikonduktor masih menggunakan kaedah lama: mereka memanaskan udara terlebih dahulu, dengan harapan udara tersebut akan memanaskan komponen yang ingin diproses. Ini sama saja seperti cuba memanaskan sebuah rumah dengan menggunakan pengering rambut. Prosesnya sangat lambat.
Itulah sebabnya ramai yang beralih kepada kaedah pemanasan inframerah. Dengan cara ini, tenaga pemanasan sampai terus ke komponen yang ingin diproses, tanpa perlu menunggu udara menjadi panas terlebih dahulu.
Kos yang Terpaksa Dibayar Akibat Menunggu
Fikirkan tentang prinsip fiziknya sebentar. Pemanasan udara bergantung pada proses konveksi, yang sebenarnya merupakan cara yang lambat untuk memanaskan sesuatu. Anda perlu menunggu udara menjadi panas, kemudian menunggu lagi agar haba tersebut meresap ke dalam bahan yang ingin diproses. Ia merupakan proses yang memakan masa.
Sebaliknya, lampu inframerah memberikan hasil yang cepat. Anda hanya perlu menghidupkan lampu tersebut, dan komponen yang ingin diproses akan segera dipanaskan.
Dalam kilang pembuatan semikonduktor yang beroperasi pada skala besar, setiap saat sangat penting. Jika anda dapat mengurangkan masa pemanasan sebanyak 30 saat untuk setiap wafer, anda akan mendapat ribuan unit tambahan setiap syif kerja. Ini merupakan penjimatan yang besar jika anda masih menggunakan kaedah pemanasan udara.
Hentikan Pemanasan Seluruh Bilik
Satu lagi masalah ialah sistem pengudaran udara sering kali kurang efisien. Banyak haba hilang melalui saluran udara dan badan mesin. Ini merupakan pembaziran.
Dengan menggunakan pemanasan inframerah, tenaga pemanasan dapat disalurkan tepat ke tempat yang diperlukan. Anda tidak perlu memanaskan seluruh bilik hanya untuk memanaskan satu wafer hingga suhu 200°C. Selain itu, peralatan yang digunakan juga lebih kecil. Anda boleh meletakkan lebih banyak peralatan pemprosesan dalam ruang yang sama, tanpa perlu risau tentang halangan akibat peralatan tersebut.
Kelemahan Penggunaan Pemanasan Inframerah
Namun, pemanasan inframerah bukanlah penyelesaian yang sempurna untuk segala masalah. Kerana haba yang dihasilkan sangat tinggi, segala-galanya boleh menjadi tidak kawal jika lampu tersebut tidak diselaraskan dengan betul. Anda mungkin akan menghadapi masalah seperti kawasan yang terlalu panas yang boleh merosakkan komponen tersebut.
Anda memerlukan pengawal suhu yang tepat untuk memastikan suhu tidak melebihi had yang ditetapkan. Jika anda beralih dari kaedah pemanasan udara, anda perlu menyesuaikan sensor-sensor yang digunakan.
Tapi masalah paling besar ialah sistem penyejukan. Kerana komponen dipanaskan dengan begitu cepat, sistem penyejukan perlu bekerja lebih keras. Jika sistem penyejukan tidak cukup kuat, masalah akan berlaku di bahagian akhir proses pemprosesan.