Membuat proses pemanasan di bilik bersih menjadi lebih “cerdas”
Jika anda ingin membawa fasiliti pengeluaran semikonduktor ke era Industri 4.0, anda akan menyedari bahawa ia memerlukan lebih daripada sekadar perisian canggih sahaja. Anda memerlukan peralatan yang mampu bekerjasama dengan data yang dikumpulkan.
Masalahnya ialah kaedah pemanasan konvensional yang digunakan sekarang terlalu lambat. Ia juga tidak efisien. Dalam bilik bersih, menggunakan udara sebagai media untuk memindahkan haba merupakan cara yang berisiko, kerana ia boleh mengganggu aliran udara yang stabil dan meningkatkan risiko kewujudan bahan kotoran.
Itulah sebabnya kita menggunakan sistem inframerah yang efisien. Sistem ini menggunakan haba radiasi secara langsung. Tidak perlu menggunakan udara sebagai media, dan risikonya juga lebih rendah.
Kekuatan kawalan masa nyata
“Fasiliti pintar” sebenarnya hanyalah fasiliti yang menggunakan data yang ada untuk mengawal proses pengeluaran. Oleh kerana sistem inframerah dapat bertindak balas dengan cepat, ia sangat sesuai untuk tujuan ini.
Apabila sistem ini disambungkan ke PLC dengan fungsi kawalan PID, segalanya akan berubah. Anda tidak perlu lagi membuat tekaan; anda boleh melihat profil suhu secara masa nyata. Ini bermakna kuasa yang digunakan dapat dikawal dalam masa milisaat sahaja.
Berbanding dengan pemanas jenis resistif yang mempunyai kelewatan dalam proses pemanasan, sistem inframerah membolehkan suhu wafer dikawal dengan lebih tepat. Ini bermakna kurang sisa produk yang terbuang semasa proses pengeringan atau penyambungan. Ini merupakan penyelesaian yang sangat baik.
Menghemat ruang
Ruang di bilik bersih sangat berharga. Setiap inci ruang sangat penting.
Sistem inframerah membolehkan penghasilan haba yang banyak dalam ruang yang kecil. Jika anda menggunakan sistem inframerah gelombang pendek, anda boleh meletakkan sumber haba lebih jauh dari substrat tanpa kehilangan tenaga. Ini memberikan ruang yang cukup untuk sensor dan lengan robotik untuk berfungsi dengan baik.
Kelemahan sistem inframerah
Namun, sistem inframerah juga mempunyai kelemahan. Sistem ini memerlukan tenaga yang banyak. Jika anda merancang untuk menggunakan sistem inframerah yang berkuasa tinggi, pastikan panel elektrik anda mampu menanggung arus yang tinggi tersebut. Jika tidak, sistem tersebut akan terhenti berfungsi.
Selain itu, terdapat masalah berkaitan haba sisa. Walaupun haba dihasilkan secara tertentu, bahagian luar sistem tetap akan menjadi panas. Jika sistem HVAC tidak cukup kuat untuk menyerap haba tersebut, suhu sekeliling akan naik, dan segalanya akan kembali seperti biasa.
Namun, setelah masalah ini diselesaikan, anda tidak perlu lagi memantau pemanas secara manual. Sebaliknya, setiap proses pemanasan dapat direkodkan dan disimpan dalam data.