Quando si gestisce una camera pulita di classe 100, “quasi pulita” non è sufficiente. Basta un piccolissimo frammento proveniente da un elemento riscaldante – qualcosa che non si può nemmeno vedere – e l’intera produzione di wafer diventa inutile. È un incubo.
Ecco perché abbiamo smesso di utilizzare il vetro tradizionale per le nostre lampade a infrarossi. Il vetro tradizionale contiene impurità che non riescono a resistere al calore; queste impurità si decompongono e causano problemi. Abbiamo quindi optato per il quarzo sintetico ad alta purezza. Il quarzo rimane stabile e pulito.
Niente più gas dannosi
La maggior parte delle lampade a infrarossi utilizza leganti o rivestimenti che iniziano a rilasciare gas non appena si riscaldano. Noi abbiamo eliminato tutti questi elementi indesiderati.
Poiché utilizziamo quarzo ad alta purezza, la superficie rimane inerte. Non c’è bisogno di preoccuparsi che sostanze chimiche finiscano sui wafer. Inoltre, prestiamo molta attenzione al processo di sigillamento delle lampade. Teniamo i filamenti di tungsteno lontani da qualsiasi traccia di ossigeno, così da evitare che i tubi si appannino. Se i tubi rimangono chiari, l’efficienza delle lampade a infrarossi rimane elevata. Semplice, no?
Portare il calore dove serve
Queste lampade raggiungono rapidamente la temperatura desiderata. Abbiamo concentrato l’attenzione sull’emissione a onde corte, poiché così il calore può penetrare realmente nel substrato del wafer, invece di riscaldare soltanto l’aria intorno ad esso. Questo permette di controllare con precisione la temperatura.
Un piccolo avvertimento: questa densità di calore è molto elevata. Controllate bene i supporti su cui vengono montate le lampade. Se il telaio non è progettato per resistere all’espansione del quarzo quando si riscalda, potreste esercitare troppa pressione sulle estremità delle lampade.
Installazione semplice
Abbiamo progettato queste lampade in modo che possano essere installate facilmente. Non ci sono problemi legati all’installazione. La forma delle lampade è tale che la polvere non può nascondersi da nessuna parte.
Inoltre, grazie alla qualità elevata dei materiali utilizzati, non avrete problemi con l’ossidazione del quarzo. Questo significa che non è necessario sostituire le lampade così spesso, evitando così di compromettere la stabilità della camera pulita.
Un ultimo consiglio: fate attenzione all’alimentatore elettrico. Assicuratevi che sia stabile. Alcuni picchi di tensione possono distruggere i filamenti molto più velocemente di quanto il quarzo possa deteriorarsi.