Membuat Proses Termal di Ruang Bersih Menjadi Lebih “Cerdas”
Jika Anda ingin membawa pabrik semikonduktor ke era Industri 4.0, Anda akan segera menyadari bahwa hal tersebut membutuhkan lebih dari sekadar pemasangan perangkat lunak canggih saja. Anda juga membutuhkan perangkat keras yang mampu bekerja secara efektif bersama data yang ada.
Masalahnya adalah, sistem pemanasan konvensional yang digunakan saat ini terlalu lambat. Sistem ini juga kurang efisien. Di ruang bersih, penggunaan udara untuk menghantarkan panas merupakan cara yang tidak efektif, karena hal tersebut dapat mengganggu aliran udara yang seharusnya stabil, dan berisiko menimbulkan kontaminan.
Itulah mengapa kita menggunakan sistem inframerah berkualitas tinggi. Sistem ini menggunakan panas radiatif secara langsung. Tidak ada perluan untuk menggunakan udara sebagai media penghantar panas, sehingga risikonya pun berkurang drastis.
Kekuatan Kontrol Real-Time
“Pabrik cerdas” sebenarnya merupakan pabrik yang mampu memanfaatkan data yang ada secara efektif. Karena sistem inframerah bereaksi hampir secara instan, maka sistem ini sangat cocok digunakan.
Dengan menghubungkan sistem ini ke PLC yang memiliki fitur kontrol PID, segalanya akan berubah. Anda tidak perlu menebak lagi; Anda dapat melihat profil termal secara real-time. Artinya, kekuatan pemanasan dapat diatur dalam hitungan milidetik.
Bandingkan dengan pemanas resistif, yang memiliki keterlambatan dalam proses pemanasan. Dengan sistem inframerah, suhu wafer dapat dikontrol dengan lebih baik. Hal ini berarti jumlah limbah yang dihasilkan selama proses pemanasan akan berkurang. Ini tentu merupakan hal yang sangat menguntungkan.
Menghemat Ruang
Luas lantai di ruang bersih sangatlah mahal. Setiap inci ruang sangat berharga. Sistem inframerah memberikan jumlah panas yang besar dalam ukuran paket yang kecil. Jika Anda menggunakan sistem inframerah berfrekuensi pendek, Anda dapat meletakkan sumber panas lebih jauh dari substrat tanpa kehilangan energi. Hal ini memberikan ruang yang cukup bagi sensor dan lengan robot untuk bekerja dengan efektif.
Kendala yang Harus Dihadapi
Tentu saja, tidak semuanya sempurna. Sistem inframerah berkepadatan tinggi membutuhkan daya listrik yang besar. Jika Anda berencana menggunakan sistem inframerah berdaya tinggi, pastikan panel listrik Anda mampu menahan arus listrik yang besar tersebut. Jika tidak, saklar listrik akan sering trip.
Selain itu, ada juga masalah panas yang dihasilkan. Meskipun panasnya ditujukan ke objek tertentu, bagian chasis tetap menjadi panas. Jika sistem HVAC tidak cukup kuat untuk menyerap panas tersebut, suhu di ruang bersih akan naik, dan Anda akan kembali ke titik awal.
Namun, setelah masalah ini teratasi, Anda tidak perlu lagi “mengatur dan melupakan” penggunaan pemanas. Sebaliknya, setiap proses termal dapat dicatat, diverifikasi, dan disimpan dalam data.