फैब फ्लोर पर, आप जल्दी सीख जाते हैं कि सॉफ्ट बेक प्रोफाइल में आधा डिग्री का भी विचलन फोटोरेसिस्ट की मोटाई को प्रभावित कर सकता है और वेफर पर क्रिटिकल डाइमेंशन बायस को बदल सकता है। हार्ड बेक में असमानता स्थिति को और खराब कर देती है, जो डेवलप के बाद स्कम या पैटर्न ट्रांसफर के बाद एच रेजिड्यू के रूप में दिखती है। वेफर हीटिंग सपोर्ट सिर्फ गर्मी देने तक सीमित नहीं हो सकता—यह उस जगह पर सही थर्मल कंट्रोल देना जरूरी है जहां प्रक्रिया होती है।
क्या महत्वपूर्ण है
हमने वेफर हीटिंग मॉड्यूल्स को NIR और मीडियम-वेव इन्फ्रारेड स्रोतों के इर्द-गिर्द डिजाइन किया है, जो फोटोरेसिस्ट के अवशोषण एनवेलप के अनुरूप ट्यून होते हैं ताकि तेज़, सतह-आधारित क्यूरिंग हो सके बिना ओवरशूट के। वेफर पर थर्मल यूनिफॉर्मिटी को ±0.1°C तक बनाए रखें, और रिपीटेबिलिटी इतनी कड़ी हो कि समान बेक प्रोफाइल लॉट-टू-लॉट, शिफ्ट-टू-शिफ्ट मिल सके। क्लीनरूम कम्पैटिबिलिटी डिजाइन में अंतर्निहित है: क्लास 1–100 कम्प्लायंट मटेरियल्स, रैंप और स्टेडी स्टेट के दौरान शून्य पार्टिकल जनरेशन, और एग्जॉस्ट रूटिंग जो आस-पास के टूल्स से आउटगैसिंग को दूर ले जाती है। सिस्टम 24/7 चलता है और प्रोडक्शन विंडोज़ में अनप्लान्ड डाउनटाइम शून्य रहता है, साथ ही थर्मल बजट कड़ा रखा जाता है ताकि एच में जाने वाली फाउंडेशनल फिल्म्स सुरक्षित रहें।
लिथोग्राफी सेल्स में यह क्यों काम करता है
क्योंकि यहां सटीकता सीधे लाइनविड्थ कंट्रोल, कम रिवर्क्स, और पैटर्न लेयर्स में स्थिर क्रिटिकल डाइमेंशन परफॉर्मेंस में बदल जाती है। सॉफ्ट बेक स्थिरता स्टैंडिंग वेव और सॉल्वेंट रिटेंशन को कम करती है, और हार्ड बेक रिपीटेबिलिटी एज बीड को नियंत्रित रखती है जबकि डेवलप और एच से पहले एडहेजिन सुधारती है। इसका परिणाम है पूर्वानुमेय यील्ड, सुसंगत फोटोरेसिस्ट व्यवहार, और थर्मल वैरिएबिलिटी के कारण होने वाले कम विचलन। ऊर्जा की खपत भी कम होती है—तेजी से रैंप-टू-सेटपॉइंट प्रतिक्रिया आइडल हीट को घटाती है और क्लीनरूम में थर्मल लोड कम करती है।
ध्यान में रखने योग्य बातें
इंस्टॉलेशन का मतलब है टूल इंटरफेस, एग्जॉस्ट, और पावर कंडीशनिंग को होस्ट ट्रैक या कोटर के अनुसार मिलाना। हीटिंग विंडो वेफर के बैकसाइड कंडीशंस के प्रति संवेदनशील होती है; मोटी फिल्में या खुरदरी बैकसाइड यूनिफॉर्मिटी बनाए रखने के लिए रेसिपी ट्यूनिंग की आवश्यकता हो सकती है। प्रारंभिक क्वालिफिकेशन उत्पाद स्प्लिट्स में चलाने की योजना बनाएं ताकि बेक प्रोफाइल लॉक हो सके। इसके बाद, सिस्टम स्थिर हो जाता है और न्यूनतम ऑपरेटर हस्तक्षेप के साथ रिपीटेबल परफॉर्मेंस देता है।